大多数水源溶解性二氧化硅（SiO2）的含量在1~100mg/L。过饱和SiO2能够自动聚合形成不溶性的胶体硅或胶状硅，引起陶氏反渗透膜的污染。陶氏反渗透膜系统浓水中的允许SiO2浓度限度取决于SiO2的溶解度。
浓水中硅的结垢倾向与陶氏反渗透膜进水中的情形不同，这是因为SiO2浓度增加的同时，浓水的pH值也在变化，这样陶氏反渗透膜SiO2的结垢计算要根据原水水质分析和反渗透的操作参数（回收率）而定。
如果出现一定量的金属，如Al3+的话，可能会通过形成金属硅酸盐改变SiO2的溶解度。陶氏反渗透膜硅结垢的发生大多数为水中存在铝或铁。因此，如果存在硅的话，应保证水中没有铝或铁，同时采取陶氏反渗透膜预防性的酸性清洗措施。
❖ 为了提高陶氏反渗透膜系统回收率，进行石灰－纯碱软化预处理时，应添加氧化镁或铝酸钠以减少进水中的SiO2浓度，同时确保软化过程有效运转十分重要，以防止反渗透系统会出现难溶金属硅酸盐；
❖ 由于pH值低于7或pH值高于7.8，可以增加硅的溶解度，就防止陶氏反渗透膜硅结垢而言，加酸或加碱可以提高水的回收率，但在高pH条件下，要防止CaCO3的沉淀；
❖ 当采用热交换器增加进水温度时，就二氧化硅的结垢而言，可以显著地提高水的回收率，但陶氏反渗透膜系统的允许温度不超过45℃；
❖ 高分子量的聚丙烯酸酯阻垢剂可以用于增加二氧化硅的溶解度。
